南光镀膜设备扩散泵启动后油镜里有气泡怎么回事 一、关闭电源，拆除加热炉 二、让扩散泵冷却到室温，拔出泵壁的测量孔上的密封，把空气放入泵内 三、拆除机械泵联接和扩散泵 四、取出扩散泵，取出里面的部件，如喷油伞等，一定要记住安装秩序和位置 五、清洗部件和泵内壁，尤其是泵底部，把油.
真空镀膜机的详细结构 高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统。.
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