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如何用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率 椭圆偏振测量薄膜厚度

2021-04-06知识6

如何用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到。

薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生

椭圆偏正光法测薄膜厚度

#椭圆偏振测量薄膜厚度

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