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如何用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率 折射率椭圆偏振法测量

2021-04-06知识2

跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率在现代科学技术中,薄膜有着广泛的应用.因此测量薄膜的技术也有了很大的发展,椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一.椭偏法测量具有如下特点:能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级.是一种无损测量,不必特别制备样品,也不损坏样品,比其它精密方法:如称重法、定量化学分析法简便.可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数.因此可以作为分析工具使用.对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感.是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1,n2,n3,f1,d,l)

椭圆偏振技术的优势 相较于标准的反射强度测量方法,椭圆偏振有许多优点:椭圆偏振量测在光谱中每个波长可取得至少两个参数,如果采用广义椭圆偏振,则可在各波长取得高达16个参数。因其并非量测光之实际强度,而是量测光之强度比例,椭圆偏振较不受光源之不稳定性或是大气环境吸收光之影响。毋需测量参考物。不用进行Kramers-Kronig分析(en:Kramers-Kronig relation),即可取得介电性质(或折射率)之实部及虚部数值。椭圆偏振技术在研究非等向性的样品测量其反射性质,更具其优势。

为什么反射光与折射光垂直时,是偏振光 光是一种电磁波,电磁波是横波。而振动方向和光波前进方向构成的平面叫做振动面,光的振动面只限于某一固定方向的,叫做平面偏振光或线偏振光。通常光源发出的光,它的振动。

#折射率椭圆偏振法测量

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