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椭圆偏振法测薄膜厚度测量时,投射到样品的入射光的入射角是多少度 椭圆偏振光测膜厚

2021-04-05知识3

跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏凯樱2113振光法测定介5261质薄膜的厚度和4102折射率在现代科1653学技术中,薄膜有着广泛的版应用。因此测量权薄膜的技术也有了很大的发展明唤,椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一。椭偏法测量具有如下特点:能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级。是一种无损测量,不必特别制备样品,也不损坏样品,比其它精盯槐丛密方法:如称重法、定量化学分析法简便。可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1,n2,n3,f1,d,l)

等幅椭偏光和圆偏振光有啥区别么? 楼上两位都不正确,但是一楼实在错的离谱.等幅椭偏光是P分量与S分量的振幅相等的情况.书上就说此处振幅相等的P分量与S分量合成的光是等幅椭偏光.但不能因为P与S分量振幅垂直且相等就认为其是圆偏振光,这是因为入射光的偏振态是由P分量与S分量的振幅比以及相位差决定的.

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