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四氟化硅的危害特性 氟化硅的物理特性及毒性?

2021-04-05知识4

四氟化碳对人体有什么危害 你好,楼主:【四氟化碳和氧气在高温下不反应】四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。危害性概述危险性类别:GB2.2 类不燃气体 侵入途径:吸入 健康危害:吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。

氟化硅的物理特性及毒性?主要讲对人体危害和环境的污染。是否能作为建筑原材料?氟化硅遇水生成氟硅酸和和二氧化硅(或者是硅酸)所以应该不会用作为建筑原材料

四氟化硅的状态是什么? 四氟化bai硅常温下是du气态的,易zhi溶于水,且溶于水会dao有部分水解。SiF4+3H2O=H2SiO3+4HFHF溶液内腐蚀玻璃:容4HF+SiO2=SiF4+2H2O

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