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国产可见分光光度计品牌有那些? 椭圆偏振测厚原理

2021-04-04知识5

薄膜厚度静态和动态监测方法分别有哪些? 薄膜厚度和沉积率的2113实时监测主要有哪些方法5261最佳答案真空镀4102膜就是置待镀材料和被1653镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。一、镀膜的方法及分类在真空条件下成膜有很多优点:可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应(如氧化等),以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低。主要分为一下几类:蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发镀膜:通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法最早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的。

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椭偏测厚仪器的基本思想是什么?各主要光学不见的作用是什么?椭圆偏振法测量中的误差可能来源于什么因素 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线根据仪器分析中的方程求解就可以的撒.

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