薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生
如何鉴别椭圆偏振光和部分偏振光 如果要鉴别椭圆偏振光和部分偏振光，可以让两束光都以百最大透振方向对准1/4波片的光轴方向，通过波片，然后再将出度射光透过偏振片，转动偏振片，有消光现版象的就是椭圆偏振光，只权有光强弱变化，没有消光的就是部分偏振光。
怎样检测椭圆偏振光的形状 当测出椭圆形状 仅用一个偏振片是不能区别椭圆偏振光和部分偏振光的，当椭圆偏振光和部分偏振光通过偏振片以后，转动偏振片，会看到屏上都有明暗变化，但是没有消光现象，两种光的现象完全。
