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什么工艺会产生四氟化硅和氟化氢? 四氟化硅 废气

2021-04-03知识5

回转窑中氟化物的危害及处理方法 日本人必死

为什么只有HF这种酸能与SiO2反应 这主要是这个反应的生成物SiF4的挥发性,稳定性和水的稳定性.严格说,Si的卤化物都可以水解,但SiF4是唯一的例外.所以SiO2能和唯一的酸反应而溶解,这就是HF。

什么工艺会产生四氟化硅和氟化氢? 我知道的主要是真空镀膜设备,太阳能电极板之类的东西镀膜用,材料很多,但是基本上都是这种对人体十分有害的东西

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