如何用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率
跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏凯樱2113振光法测定介5261质薄膜的厚度和4102折射率在现代科1653学技术中，薄膜有着广泛的版应用。因此测量权薄膜的技术也有了很大的发展明唤，椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一。椭偏法测量具有如下特点：能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级。是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精盯槐丛密方法：如称重法、定量化学分析法简便。可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1，n2，n3，f1，d，l）
椭偏仪测量的测量过程
为什么我们看到的光绝大部分是偏振光？ 晶体光学元件 1、偏振器件 尼科耳棱镜 格兰棱镜 2 波晶片 构造：单轴晶体使其光轴与表面平行 入射光 1/4波片 检验偏振光的光路 n 偏振光的检验 借助检偏器和1/4波晶片检验。
椭圆偏振法测薄膜厚度测量时，投射到样品的入射光的入射角是多少度 椭圆偏振反射测试膜厚区别选用Si3N4薄膜Zr O薄膜两种光材料作测试象研究椭圆偏振测量薄膜厚度精度实验结表明，椭圆偏振精度较高，于数量级几十nm光薄
薄膜厚度测量的薄膜厚度的测量方法
为什么我们看到的光绝大部分是偏振光？ 偏振光偏振光(Polarization)光是一种电磁波，电磁波是横波。而振动方向和光波前进方向构成的平面叫做振动面，光的振动面只限于某一固定方向的，叫做平面偏振光或线偏振光。通常光源发出的光，它的振动面不只限于一个固定方向而是在各个方向上均匀分布的。这种光叫做自然光。光的偏振性是光的横波性的最直接，最有力的证据，光的偏振现象可以借助于实验装置进行观察，P1、P2是两块同样的偏振片。通过一片偏振片p1直接观察自然光（如灯光或阳光），透过偏振片的光虽然变成了偏振光，但由于人的眼睛没有辨别偏振光的能力，故无法察觉。如果我们把偏振片P1的方位固定，而把偏振片P2缓慢地转动，就可发现透射光的强度随着P2转动而出现周期性的变化，而且每转过90°就会重复出现发光强度从最大逐渐减弱到最暗；继续转动P2则光强又从接近于零逐渐增强到最大。由此可知，通过P1的透射光与原来的入射光性质是有所不同的，这说明经P1的透射光的振动对传播方向不具有对称性。自然光经过偏振片后，改变成为具有一定振动方向的光。这是由于偏振片中存在着某种特征性的方向，叫做偏振化方向，偏振片只允许平行于偏振化方向的振动通过，同时吸收垂直于该方向振动的光。通过偏振片。
椭圆偏振技术的基本原理
最低0.27元开通文库会员，查看完整内容>；原发布者：just爱you无悔椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告组别：69组院系：0611姓名：林盛学号：PB06210445实验题目：椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的：了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。实验原理：椭圆偏振光经薄膜系统反射后，偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数描述椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统关系后发e69da5e887aae799bee5baa6e997aee7ad9431333433623766生的变化，描述椭圆偏振光相对振幅的衰减。有超越方程：为简化方程，将线偏光通过方位角的波片后，就以等幅椭圆偏振光出射，；改变起偏器方位角就能使反射光以线偏振光出射，公式化简为：这时需测四个量，即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差，如设法使入射光为等幅椭偏光，则；对于相位角，有：因为入射光连续可调，调整仪器，使反射光成为线偏光，即=0或（），则或，可见只与反射光的p波和s波的相位差有关，可从起偏器的方位角算出.对于特定的膜，是定值，只要改变入射光两分量的相位差，。
椭圆偏正光法测薄膜厚度
