四氟化硅刻蚀氮化硅 四氟化碳对人体有什么危害

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有谁能回复一下吗 等离子刻蚀是什么意思？工艺技术是什么？ 等离子刻蚀也叫干法刻蚀，主要是刻断PN结的，就是用高能等离子体和四氟化碳来腐蚀硅片！苏州硅时

四氟化碳 与硅和二氧化硅的反应有毒吗，对人体有医学吗，等离子刻蚀机的辐射大吗 单质氟对人体肯定是有害的，就如冰箱使用不含氟利昂的，至于你的工作环境，保持空气流通。

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