太阳能硅片在清洗的过程中怎样防止氧化?
半导体硅片工艺中有一个是 RCA cleaning
氧化铝薄膜在硅片上一般呈什么颜色 若实验未开始,在蒸镀的时候,遮上一块硅片,根据探针测试法就可以知道二氧化硅薄膜厚度了。如果已蒸镀,可用氢氟酸和氟化氨溶液将二氧化硅腐蚀,不一定要劈尖状,因为量一下腐蚀彻底的边缘硅片厚度,再与硅片上二氧化硅薄膜完整的区域的厚度,一比较,就可知道薄膜厚度。取一片长有氧化层的硅片,在其表面涂一小点黑胶,将此硅片置于丝网上在酒精灯上加热,使黑胶融化覆盖在硅片的一小区域。然后,将硅片浸入HF腐蚀液中,腐蚀去除黑胶未覆盖区域的二氧化硅层。