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二次电子包括俄歇电子和光电子吗?他们三者都有啥区别呀? 背散射电子能量范围较宽

2020-12-12知识9

二次电子包括俄歇电子和光电子吗?他们三者都有啥区别呀? 二次电子通常是与背散射电子(又称一次电子)相对应,分别用于SEM中的形貌衬度像(SE)和原子序数衬度像…

二次电子包括俄歇电子和光电子吗?他们三者都有啥区别呀? 背散射电子能量范围较宽

背散射电子能获得与二次电子同级别分辨率的图像吗?

二次电子包括俄歇电子和光电子吗?他们三者都有啥区别呀? 背散射电子能量范围较宽

二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度有何特点 仅供参考背散射电子像zd的衬度要比二次电子像的衬度大,二次电子一般用于形貌分析,背散射电子一般用于区别不同的相。二次电子像:1)凸出的尖棱,小粒子以及比较陡的斜面处二次电子产额较多,在荧光屏上这部分的亮度较大。2)平面上的二次电子产额较小,亮度较低。3)在深的凹槽底部尽管能产生较多二次电子,使其不易被控制到,因此相应衬度专也较暗。背散射电子像:1)用背散射电子进行形貌分析时,其分辨率远比二次电子像低。2)背散射电子能量高,以直线轨迹逸出样品表面,对于背向检测器的样品表面,因检测器无法收集到背散射电子而变成一片阴影,因此,其图象衬度很强,衬度太大会失去细节的层次,不利于分析。因此,背散射电子形貌分析效果远不属及二次电子,故一般不用背散射电子信号。

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背散射电子的概述 背散射电子(back scattered electron)当电子束照射样品时,入射电子在样品内遭到衍射时,会改变方向,甚至损失一部分能量(在非弹性散射的情况下)。在这种弹性和非弹性散射的过程中,有些入射电子累积散射角超过90度,并将重新从样品表面逸出。那么背散射电子就是由样品反射出来的初次电子,其主要特点是:能量很高,有相当部分接近入射电子能量 E 0,在试样中产生的范围大,像的分辨率低。背散射电子发射系数 η=I B/I 0 随原子序数增大而增大。作用体积随入射束能量增加而增大,但发射系数变化不大。

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