管式pecvd中心色差 板式pecvd和管式pecvd的区别

PECVD镀舟舟上有白色粉尘如何解决 这要看情况？如果是白条纹就要从去磷硅开始处理 清理干净不就行了 1）石墨舟放入酸槽后，关上盖板打开喷淋开关。(酸洗在10-12小时，石墨舟清洗机开关操作面上喷淋阀按压下去。看到pecvd的问题，我想补充问下，你是管p还是平板式的，局部漏电是片子本身就是漏电大的片子吗？ 我感觉应该还是烧结炉温度达不到的原因 刻蚀机不稳定 刻蚀的时候我都有在观察 波动不大 设备本身也不好 我们现在是利用廉价的原硅片做出高效率的成品片.centrotherm管式PECVD出现报警为Boat position-EFM error 4：not positoned怎么办 石墨舟位置EFM错误：不定位 检查石墨舟的位置是否变动，有较大的变动，需要从新调整石墨舟位置，没有位置变化话，检查TGA感应器位置是否正确，最好检查整个efm系统 再看看。为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象 有可能是片摆放位置不是很正，另一个就是由于石墨舟使用时间较长，产生温度不是很均匀造成烧片！板式pecvd和管式pecvd的区别 前者是在管子里，片子在石墨舟里作为电极镀膜，可以叫做直接式，后者则在石墨框上，不作为电极，可以叫做间接式。前者采用射频电源，后者则采用微波辉光。另外还有很多不同之处。