在全球光刻机制造领域，荷兰巨头ASML垄断全球多年。
所以无论是台积电还是三星，想要继续深耕高精度工艺，就必须从ASML处抢购年产量仅为数十台的高端EUV光刻机。
但在芯片制造过程中，核心设备并非只有光刻机一种，蚀刻机的重要性也不容小觑。资料显示，蚀刻机主要负责把复制到硅片上的电路结构进行微雕，雕刻出沟槽和接触点，为线路提供空间。
由此可见，蚀刻机的工作精度丝毫不亚于用光将掩膜上的电路结构复制到硅片上的光刻机。
因而，掌握蚀刻机制造技术对于中国半导体产业而言同样具有重要意义。在这一方面不同于光刻机领域，蚀刻机是目前我国最具优势的半导体设备领域。
据IC Insights的数据，时至今日，蚀刻设备的国产化率已经达到20%以上，而且国产蚀刻机的市场规模也在随着中国半导体市场规模的扩张不断提升。
站在全球市场的角度来看，虽然美国泛林半导体、应用材料以及日本的东京电子这三家顶尖的蚀刻机公司占据了94%的市场。
但除了日美三巨头之外，中国的蚀刻机龙头企业中微半导体，也处于业界领先地位。公开资料显示，中微半导体正式成立于2004年，至今为止已有16年的发展史。
虽说16年对于半导体领域的企业而言并不算长，但中微半导体却成功实现了国产蚀刻机从无到有的突破，甚至拿到了世界领先的成绩。
笔者了解到，中微半导体是全球第一家成功研制出5nm精度蚀刻机的企业，目前该公司的5nm蚀刻机已经通过台积电的验证。
2020年，中微半导体5nm蚀刻机将会被台积电应用于5nm生产线。值得一提的是，联华电子、SK海力士等行业巨头也是中微半导体的客户。
事实上，早在2018年中微半导体就已经成为行业领先的蚀刻机巨头。公开资料显示，当年美方的相关设备因为涉嫌侵犯中微半导体的专利被中国海关扣下。
美企主动与中微半导体谈判，并且双方达成互相授权的和解协议后后才被放行。还有数据显示，截至2019年，中微半导体掌握了多款具有自主知识产权的芯片设备，在全球范围内申请的专利数量达1200多项。
在中微半导体的助力下，中国半导体产业有望更快摆脱美方的限制，彻底实现独立自主。
文/谛林 审核/子扬 校对/知秋
