选配晶圆搬送机 — AL120系统
选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上，实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。卓越的性能和可靠性可实现安全高效的前后宏观检测，同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。
MX63系统与AL120晶圆搬送机结合使用(200毫米型号)
快速、清洁的检测
MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内，显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全，缩短检测间隔时间的同时，让操作人员的手始终保持在晶圆下方，避免了潜在的污染。
接受所有晶圆尺寸
该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆支架和玻璃板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化，以很少的成本即可更改显微镜镜架。有了MX63系列，各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。
晶圆支架和玻璃板
让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX 63 和 MX63L 显微镜系统具有多种功能，采用符合人体工学的易用设计，能够提供最大 300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计，能够提供适用于多种检查用途的最佳观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合，从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单而流畅。
