鑫晶半导体科技有限公司12英寸半导体大硅片生产线。 通讯员 李论 摄
本报讯（徐报融媒记者 王正喜 见习记者 张亚轩 通讯员 李论）10月16日，省重大产业项目——“徐州鑫晶半导体科技有限公司半导体大硅片项目”一期工程，经过26个月的紧张施工建设，实现通线量产，填补了江苏没有大尺寸硅片生产的空白。实现量产后，徐州将成为我国最大的12英寸高端半导体材料生产基地之一。
最近一年来，鑫晶公司在省市各级党委政府的关心支持下，大力发扬精益生产、持续创新、不断超越的工匠精神，积极克服新冠肺炎疫情影响，先后攻克设备安装、调试、试运行过程中的各种技术难关，成功实现12英寸半导体大硅片生产线贯通，并产出首批半导体硅片。
徐州鑫晶半导体科技有限公司董事长郑加镇博士在接受徐报融媒记者独家采访时说，鑫晶半导体公司克服了多重艰难险阻，才实现了投产，成果来之不易，主要得益于四个方面因素：一是国际化团队的组建，目前鑫晶半导体公司建立了涵盖技术、运营、管理和销售，业内最有经验的国际化团队；二是资金投入有保证，半导体硅片技术壁垒高、项目资金投入大、回报期较长，项目建设以来，需要不断依靠股东的投入以及金融机构的支持，2018年12月鑫晶半导体大硅片项目获江苏省战略性新兴产业专项资金支持，被列为徐州老工业基地转型升级的标杆项目；三是核心设备获得国际授权，自主设备研发布局整个工艺流程，避免被人“卡脖子”；四是政府部门大力支持，6月29日，14位来自韩国、日本和德国专业进行设备调试的外籍技术人员乘坐包机抵达徐州，为徐州鑫晶半导体公司引进的设备进行安装调试。
硅片是芯片制造的最关键基础材料，长期以来我国的12英寸大硅片基本依赖进口，而以美欧为主的国家在今年1月新修订的“瓦森纳约定”中针对14nm以下芯片制造所需的大硅片对中国进行出口管制，实际上就是制约我国的先进芯片制造技术。我国企业在12英寸硅片正片领域至今没有大规模量产的企业，鑫晶半导体聚焦在28nm、14nm以及更先进的10nm芯片制造所需的硅片工艺研发和制造，目前试生产12英寸硅棒完美晶体良率已经达到国内领先水平，鑫晶大硅片的投产将有力支撑中国集成电路制造产业的发展，加快大硅片的国产化进程。
郑加镇说，目前鑫晶半导体一阶段10万片/月的产能全线贯通，徐州基地已经建成厂房能够容纳60万片/月的产能，按照公司规划，一阶段产品验证全部通过后，2021年上半年开始继续扩大产能，预计在2023年徐州基地60万片/月产能可全部投产。公司长期规划是在2025年前后通过自建或者收购等方式达到150万片/月产能，发展目标是成为全球前三的半导体硅片企业。
