ZKX's LAB

半导体二类超晶格 半导体超晶格有什么基本性质?哪位牛人可以给我解答

2020-10-11知识12

半导体超晶格有什么基本性质?哪位牛人可以给我解答 由两种或两种以上组分不同,或导电类型不同的纳米级超薄层(层厚10-1~10nm)材料交替地外延生长在一起所形成的多周期结构,具有这种结构的材料是一类人工改性的新的半导体材料.简史 超晶格的概念是美国国际商用机器(IBM.

半导体二类超晶格 半导体超晶格有什么基本性质?哪位牛人可以给我解答

半导体超晶格有什么基本性质??哪位牛人可以给我解答 由两种或两种以上组分不同,或导电类型不同的纳米级超薄层(层厚10-1~10nm)材料交替地外延生长在一起所形成的多周期结构,具有这种结构的材料是一类人工改性的新的半导体材料。简史 超晶格的概念是美国国际商用机器(IBM)公司的江崎、朱兆祥在1969年提出的。他们认为,由于超品格的周期远大于原晶体的晶格常数,但又小于电子的德布洛依波长晶体中电子的运动受到超晶格周期势场的扰动,其运动状态会发生很大变化。半导体超晶格具有许多“天然晶体”所没有的新异的物理特性。理论上预计,原晶体的布里渊区会分裂为许多小区,相应的能带也会分裂为许多子能带,在外场作用下,电子易达到小布区边界而会呈现出负阻效应和高频振荡效应(布洛赫振荡)等。1971年美国贝尔(Bell)实验室的卓以和用分子束外延(MBE)方法生长出了第一个GaAs/AlGaAs半导体超晶格材料,1972年美国IBM公司的张立刚观测到分子束外延(MBE)GaAs/Al—GaAs超晶格的负阻效应,证实了理论预计。从此,半导体超晶格的研究引起了人们极大的兴趣和日益广泛的研究。20多年来,研究成的半导体超晶格已达数十种,涉及到Ⅲ-V、Ⅱ-Ⅵ、Ⅳ-Ⅵ族化合物、Ⅳ族元素半导体、非晶态半导体、金属、铁磁体、超导体和有机物等。

半导体二类超晶格 半导体超晶格有什么基本性质?哪位牛人可以给我解答

关于半导体超晶格有谁知道半导体超晶格领域从1999到2006年有什么比较大的发展或成果?谢谢大家了!因为我在做这方面的一篇文章,缺乏这段时间的信息,希望大家能够?

半导体二类超晶格 半导体超晶格有什么基本性质?哪位牛人可以给我解答

请问半导体的发展历程是怎样的?和它的前景? 更多精彩内容,请登录维库电子通(wiki.dzsc.com) 常见的半导体材料现状及趋势 1、硅材料 从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)单晶的直径和减小微。

农大南路西口到中科院半导体超晶格国家重点实验室怎么去

半导体外延生长有哪些方式 外延(Epitaxy,简称2113Epi)工艺是指在单晶衬底5261上生长一层跟衬底具有相同晶格4102排列的单晶材料,外延层可以是同质外延层(Si/Si),也可以是异质外延层(SiGe/Si 或SiC/Si等);同样实现外延生长也有很多方法,包括分子束外延(MBE),超高真空化学气相沉积(UHV/CVD),常压及减压外延(ATM&RP Epi)等等。本文仅介绍广泛应用于半导体集成电路生产中衬底为硅材料的硅(Si)和锗硅(SiGe)外延工艺。根据生长方法可以将外延工艺分为两大类(表1):全外延(Blanket Epi)和选择性外延(Selective Epi,简称SEG)。工艺气体中常用三种含硅气体源:硅烷(SiH4),二氯硅烷(SiH2Cl2,简称DCS)和三氯硅烷(SiHCl3,简称TCS);某些特殊外延工艺中还要用到含Ge和C的气体锗烷(GeH4)和甲基硅烷(SiH3CH3);选择性外延工艺中还需要用到刻蚀性气体氯化氢(HCl),反应中的载气一般选用氢气(H2)。外延选择性的实现一般通过调节外延沉积和原位(in-situ)刻蚀的相对速率大小来实现,所用气体一般为含氯(Cl)的硅源气体DCS,利用反应中Cl原子在硅表面的吸附小于氧化物或者氮化物来实现外延生长的选择性;由于SiH4不含Cl原子而且活化能低,一般仅应用于低温全外延工艺;而另外一种常用硅源TCS蒸气压低,在常温。

什么叫超晶格,超晶格和光子晶体有和区别和联系? 超晶格:1970年美国IBM实验室的江崎和朱兆祥提出了超晶格的概念.超晶格材料是两种不同组元以几个纳米到几十个纳米的薄层交替生长并保持严格周期性的多层膜,事实上就是特定形式的层状精细复合材料。光子晶体:即光子禁带材料,从材料结构上看,光子晶体是一类在光学尺度上具有周期性介电结构的人工设计和制造的晶体。与半导体晶格对电子波函数的调制相类似,光子带隙材料能够调制具有相应波长的电磁波-当电磁波在光子带隙材料中传播时,由于存在布拉格散射而受到调制,电磁波能量形成能带结构。

#光子晶体#电子#超晶格#外延生长#半导体

随机阅读

qrcode
访问手机版