椭圆偏振和反射法测试膜厚方法的区别选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明，椭圆偏振法的精度较高，但对于数量级在几十个nm的光学薄
跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率在现代科学技术中，薄膜有着广泛的应用.因此测量薄膜的技术也有了很大的发展，椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一.椭偏法测量具有如下特点：能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级.是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精密方法：如称重法、定量化学分析法简便.可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数.因此可以作为分析工具使用.对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感.是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1，n2，n3，f1，d，l）
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