常用的传统生产法是哪几种？ 多晶硅的传统生产方法虽多，但常用的不多，仅有三氯氢硅（SiHCl3）氢还原法、四氣化硅（SiCU）氢还原法和硅烷（SiH4）裂解法三种。（1）三氣氢硅氢还原法。此法是德国。
硅及其化合物在工业上有广泛用途，以硅粉、镁粉等原料制备硅烷的工业流程如下：
什么是硅烷裂解法？ 硅烷裂解法，顾名思义就是加热硅烷使其裂解，从而产出多晶硅的方法。在传 统生产方法中，硅烷裂解法生产的多晶硅质量最好、转换率最高、炉温最低、耗能 最少，而且生产过程中。
什么是硅源呢？ 在多晶硅生产中，有人将含有硅的原料称为硅源。三氣氢硅(SiHCl3)、四氯化硅(SiCU)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、硅烷(SiH4)都是硅源。每种硅源都有各自的特性，但都是含有硅元素的。
什么是硅烷裂解法？ 硅烷裂解法，顾名思义就是加热硅烷使其裂解，从而产出多晶硅的方法。在传统生产方法中，硅烷裂解法生产的多晶硅质量最好、转换率最高、炉温最低、耗能最少，而且生产过程中。
