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我国在光刻机研制方面是否有专业的研发机构或团队? 上海腾尔机械有限公司怎么样

2020-10-07知识6

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民航史上最大的奇迹是什么? 军机肯定是只剩一边翅膀飞回来。民用飞机呢?小型客机也算的话。

我国在光刻机研制方面是否有专业的研发机构或团队? 答案是有的芯片加工其实是一个系统工程,其中光刻机的研制主要由各子系统及主系统集成几个方面组成,我国在2002年推出的“十五”规划中《国家科技16个重大专项》的(02专项)就是针对光刻机设备的研发。并且为此专门组建了上海微电子装备有限公司(SMEE)作为研发主力,并且把中电科45所有关光科技研发的技术团队转移到了上海。同时各主要的子系统部分也分别委托国内相关领域的顶尖科研团队参与集体研发。极紫外光刻机(EUV)的研制主力研发单位是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(简称长春光机所)光源部分:由哈尔滨工业大学方面负责,最近消息DPP-EUV光源已经到了接近12*W的水平。物镜部分:北京某单位已经研发成功对应的大口径光学镜面超精密加工机床,相关样机已经研制完成。目前极紫外光刻机(EUV)样机已经完成并通过了国家验收,预计两年内正式量产的样机即将问世。(毕竟长春光机所很早就是我国专业研究光刻机的科研单位,而且也是军用卫星镜头的主要研究单位,光学实力还是有的,同时据说长春光机主导研发的军用光刻机已经达到了28MN的加工精度,光机所控股的奥普光电就是以军用芯片生产为主的企业,只不过军用光刻机因为成本问题无法在民用领域进行推广)。

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