四氟化硅的化学反应 四氟化硅在潮湿的空百气中因水解而产生烟雾，生成硅酸和氟化氢。度二氧化硅与氢氟酸反应知则生成气态四氟化硅：SiO2(s)+4 HF(aq)→SiF4(g)+2 H2O(l)与碳酸钠溶液道发生不完全水解反应：3SiF4+2Na2CO3+2H2O=H4SiO4↓+2Na2SiF6↓+2CO2与 氢氧化钠反应较为专彻底；SiF4+6NaOH=Na2SiO3+4NaF+3H2O与氢氟酸生成氟硅酸（六氟合硅酸）SiF4+2HF=H2SiF6后者为强酸，属酸性与硫酸相当。
关于硅的化合物的化学反应方程式 Si3N4+12HF=3SiF4+4NH33SiF4+2N2+6H2=Si3N4+12HF
四氟化硅制取硅 可以一步反应，2113用氢气还原即5261可SiF4+2H2=4HF+Si(由于反应物皆4102为气体，则须标注沉淀1653符号)条件是高温，原理内类似于四氯容化硅的还原产物中 氟化氢与单质硅 在该条件下极难反应，可以认为不存在可逆反应但是在反应体系中加入一点HNO3，则会让反应发生逆转
