线偏振光垂直入射到二分之一或四分之一波片后，偏振状态怎么变化？ 线偏振光经过二分之一波片 还是线偏振光 但是偏振方向与原偏振方向垂直经过四分之一玻片后 变为椭圆偏振光
求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率在现代科学技术中，薄膜有着广泛的应用。因此测量薄膜的技术也有了很大的发展，椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一。椭偏法测量具有如下特点：能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级。是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精密方法：如称重法、定量化学分析法简便。可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1，n2，n3，f1，d，l）
薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生
最低0.27元开通文库会员，查看完整内容>；原发布者：just爱you无悔椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告组别：69组院系：0611姓名：林盛学号：PB06210445实验题目：椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的：了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。实验原理：椭圆偏振光经薄膜系统反射后，偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数描述椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统关系后发e69da5e887aae799bee5baa6e997aee7ad9431333433623766生的变化，描述椭圆偏振光相对振幅的衰减。有超越方程：为简化方程，将线偏光通过方位角的波片后，就以等幅椭圆偏振光出射，；改变起偏器方位角就能使反射光以线偏振光出射，公式化简为：这时需测四个量，即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差，如设法使入射光为等幅椭偏光，则；对于相位角，有：因为入射光连续可调，调整仪器，使反射光成为线偏光，即=0或（），则或，可见只与反射光的p波和s波的相位差有关，可从起偏器的方位角算出.对于特定的膜，是定值，只要改变入射光两分量的相位差，。
线偏振光通过1/4波片，1/2波片后，偏振状态发生了什么变化 线偏光经过四分之一波片后会变为椭圆偏振光或圆偏振光（线偏光振动方向与玻片光轴方向夹角θ=45°时），只有当线偏光的振动方向与检偏器的允许振动方向垂直时，在θ=0、90、180、270度时为线偏振光，且出射线偏光振动方向与入射偏振光的相同，这也是为什么旋转四分之一玻片会有四次消光的原因.
椭圆偏振法测薄膜厚度测量时，投射到样品的入射光的入射角是多少度 椭圆偏振反射测试膜厚区别选用Si3N4薄膜Zr O薄膜两种光材料作测试象研究椭圆偏振测量薄膜厚度精度实验结表明，椭圆偏振精度较高，于数量级几十nm光薄
