分子泵与扩散泵的关系 分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的，两个是同级的。但两个泵又各有不同的优点和缺点，所以在市场上两者是并存的。1：分子泵体积小，耗能小，对真空室的污染比较小。但是相比扩散泵，分子泵的抽气速度比较低，维护成本比较高(精密)。2：扩散泵可以设计为很大的抽速，购置成本比较低。但是扩散泵体积比较大，能耗高，会对真空室有很重的油污染，一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高)，不环保。按趋势来讲，高真空泵还是向分子泵方向在发展，但是由于分子泵叶片转速很高，所以对轴承有很高的要求，国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好，国外的分子泵价格又过高，所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵。只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵。
涡轮分子泵的特点是什么？ [3]涡轮分子泵特点抽速大、无油、启动快工作范围：低真空~中、高真空，大气~超高真空极限真空：106/1010torr缺点：振动、成本高、易损1.图2来源文字参考2.图3来源3.名片图。
涡轮分子泵性能特点是什么？ [1]涡轮分子泵性能特点编辑涡轮分子泵性能泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比
求涡轮分子泵概述？？ 涡轮分子泵是靠高速转动的转子挽带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围为1Pa-10-8Pa，抽气速率一般在5000L/s以下。先进的泵可以获得10-9Pa的极限压力，泵。
