真空扩散泵抽速慢是什么原因？但是抽1个小时后极限真空度能达到2.8的-3！刚换的油！没哪里漏气的！ 首先要确定扩散泵和前级泵，管道没有漏气。然后检查扩散泵冷却水有没有堵，如果这些都排除的话，你换扩散泵油时有没有保养扩散泵，扩散泵心有没有重新安装，如果换油前抽速正常，换油保养后才发生的，要考虑泵心安装的问题，总的来说要细心的一项一项来排除，问题就会显现的。产品做的有黑片，你在烝发的时候真空计有没有退表，如果有退表的话就说明扩散泵抽速不够，漏气垢可能性很大。希望能对你有帮助。
为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用？ 机械泵的极限真空度约是 10^-2 Pa扩散泵的极限真空度约是 10^-6 Pa 而排气压力在10-100 Pa就是说不能直排大气，需要前级泵。所以想达到高真空 需要两个泵串联使用。
真空泵系统的极限真空度是什么？ 真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求真空泵具有良好的抗腐蚀和抗。
