ICP刻蚀指的是什么，它与反应离子刻蚀是什么关系？ 二者是一回事儿。RIE，全称是Reactive Ion Etching，反应离子刻蚀，一种微电子干法腐蚀工艺。不可以同时设定.\\x0d一般rie设备，都是采用一个 13.56mhz 射频源 和 相应的匹配。
ICP刻蚀指的是什么，它与反应离子刻蚀是什么关系？ 二者是一回事儿。RIE，全称是Reactive Ion Etching，反应离子刻蚀，一种微电子干法腐蚀工艺。
什么叫反应离子束刻蚀 离子束刻蚀 离子束刻蚀以离子束为刻饰手段达到刻饰目的的技术，其分辨率限制于粒子进入基底以及离子能量耗尽过程的路径范围。离子束最小直径约10nm，离子束刻蚀的结构最小。
什么是反应离子刻蚀
RIE反应离子刻蚀机质量哪家好？ 有听说过创世威纳的这个产品供应还不错，质量有保障，网上搜搜，应该还在卖。
