请问干泵是指什么样的泵？？ 干式真空泵的定义 干式真空泵很早就出现了，但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说，一般通用的说法是：能在大气压到10-2Pa 的压力范围内工作；在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的分类 现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：① 容积式的无油真空泵，例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa，抽速为0.01～0.04m 3？s。② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa，抽速为0.02～0.15m 3？s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。这些干式泵和油封式机械泵相比，达到同样的极限压力，其残余气体成分则全然不同，经分析结果明，油封泵的残余气体，CnHm 气体(碳氢化合物气体)为其主要成分，而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。有些干式泵在结构设计上，如。
PECVD工作原理是什么？
请问：都有哪些包装机械 罐装机械 会使用到真空泵 一般像那种大米，杂粮粮食类的包装机械 灌装机械 才会用到真空泵
