真空镀膜机抽真空慢是不是机械泵有故障啊？
真空镀膜机粗抽比以前稍微慢一点，精抽很慢，是不是机械泵的问题啊？机械泵油加的时候是正常高度开起来的 机械泵有个圆的观察孔，那个玻璃上中间有个红点，那个就是标准线，高出一点没有关系的，不要加的太满了，有泡是正常的，因为机器在运作。原则上油满了观察孔是不正常的，油。
80的真空镀膜机刚换的扩散泵油抽速还是很慢，是不是油加少了呢？请哪位师傅指点一下谢谢！ 先对真空室和扩散泵体检漏，在确保没有漏的情况下参考以下意见检查扩散泵的加热温度和冷却水的温度是否正常.若扩散泵的加热温度一够，不能形成足够的蒸气射流强度，抽气速度当然会慢.如果冷却水的温度太高，对泵体的冷却不够，会容易形成油蒸气的逆向扩散，这也会降低抽速，而且还会造成返油对真空室造成污染检查前级泵的极限真空度是否正常，若前级泵(如旋片泵，螺杆泵等)的油品或密封出现问题(如长期运转磨损造成密封件磨损)造成极限真空度下降，你的扩散泵的抽速当然也受影响啊检查真空室里是否已经存在返油现象，特别是扩散泵口，如果有返油就用酒精或乙醚将其清洁干净(用酒精或乙醚很难清洁，建议先用威猛先生清洗，然后再酒精或乙醚擦洗).因为返到腔室里的油大部分都是扩散泵油裂解后的一些小分子油，在高真空下有一定的挥发性，会影响你的抽气速度.确保你更换的扩散泵油的油品没有问题，不要买便宜没牌子的.
真空镀膜机倒表是什么原因造成的<刚换的扩散泵油是北京四方》 精抽不够快，加油前是否对扩散预热和加油后是否有拉高真空
真空镀膜机粗抽比以前稍微慢一点，精抽很慢，是不是机械泵的问题啊？机械泵油加的时候是正常高度开起来的 机械泵有个圆的观察孔，那个玻璃上中间有个红点，那个就是标准线，高出一点没有关系的，不要加的太满了，有泡是正常的，因为机器在运作。原则上油满了观察孔是不正常的，油加多了。建议你放一点出来。
真空镀膜机倒表是什么原因造成的<刚换的扩散泵油是北京四方》 真空镀膜机倒表是什么原因造成的<；刚换的扩散泵油是北京四方》刚换油的时候9分钟到-2的4.0。现在20分钟才到。粗抽很快《开粗抽到转精抽4分钟》到精抽的-1前还可以，到-2就。
