扫描电镜成像时接收的电子信号主要有哪些 入射电子束射入样品表面，2113扩散5261成一个水滴状，从上至下激发出的信号4102有：1、俄歇电1653子，深度埃米级别：能量很弱，扫描电镜探测器不能采集，有专门的俄歇电镜和俄歇能谱仪；2、二次电子，深度亚微米到5μm级别：二次电子又分SE1和SE2，分别被电镜不同二次电子探测器接收，形成形貌像；3、阴极荧光、连续X射线：扫描电镜探测器不能采集；4、背散射电子：扫描电镜背散射探头采集，可形成元素成分分布像和元素成分+形貌像；5、特征X射线：扫描电镜能谱仪接收，形成元素成分分布像和元素含量分布结果；6、吸收电子：吸收了，没有然后；7、透射电子：亚微米到微米级别厚度的样品可能透过样品产生透射电子，需要借助透射电镜采集，形成透射电镜像或者能谱结果。
二次电子包括俄歇电子和光电子吗？他们三者都有啥区别呀？ 二次电子通常是与背散射电子（又称一次电子）相对应，分别用于SEM中的形貌衬度像（SE）和原子序数衬度像…
扫描电镜的分辨率与什么有关 原发布者：slender3622 扫描电镜的分辨率选自第十二章：扫描电子显微镜第3节：扫描电子显微镜的主要性能电子束与固体样品相互作用时产生的物理信号背散射电子（BE）（backscatteringelectron）背散射电子是指被固体样品中的原子反弹回来的一部分入射电子。背散射电子的能量为数千到数万电子伏，产生范围在100nm到1m深度。由于背散射电子的产额随样品原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。二次电子（SE）（secondaryelectron）二次电子是指被入射电子轰击出来的样品原子的核外电子，绝大部分来自价电子。二次电子的能量为0-50eV，所以检测器能收集到的二次电子来自表面以下5-50nm深度的区域。二次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定于表面形貌。即二次电子产额对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。吸收电子（absorptionelectron）入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子产生），最后被样品吸收。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得吸收电子信号。逸出表面的电子数量增加，则吸收电子。
