什么是靶材？靶材一般用途是什么？ 简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜.铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系。
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什么是 氧化锆 氧化锆是锆的2113主要氧化物，通常状况下为白色无臭无5261味晶体，难溶于水、盐酸和稀硫4102酸。一般常含有少量1653的二氧化铪。化学性质不活泼，且具有高熔点、高电阻率、高折射率和低热膨胀系数的性质，使它成为重要的耐高温材料、陶瓷绝缘材料和陶瓷遮光剂，亦是人工钻的主要原料。能带间隙大约为5-7eV。低温时为单斜晶系，在1100℃以上形成四方晶型，在1900℃以上形成立方晶型。扩展资料稳定氧化锆可用于制作电子陶瓷烧制过程的高性能承烧窑具，即电子承烧板。稳定氧化锆还用于氧传感器和燃料电池隔板，因为它具有独特的、使氧离子于高温条件下自由在晶体结构中移动的能力。这种高度的离子传导力(以及低变的电子传导力)使它成为最有用的电气陶瓷材料之一。氧化锆与氧化铝混合制成粗研磨颗粒，制做研磨轮的结合与涂敷研磨料，用于打磨钢铁及金属合金。圣格本通过其诺顿(Norton)分公司而成为主要研磨材料生产者。其他供货者包括埃尔费萨(Elfusa)、华盛顿米尔斯(WashingtonMills)、特雷拜彻(Treibacher)和其他。参考资料来源：-氧化锆
