涡轮分子泵的工作原理是什么? 涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件:1).涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm,即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm,就可能与第二个气体分子相碰。而在 1.3Pa 时,分子间平均自由程可达 4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞636f7079e79fa5e9819331333332636334机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。2).分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。双头抽真空表怎么用,怎么连真空泵,最好有图 一、机械法 1、变容真空泵,是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种。2、动量传输泵,它依靠高速旋转的叶片或高速射流,。真空泵有那几种类型? 凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:一、变容真空泵它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。1、往复式真空泵:利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。2、旋转式真空泵:利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺。
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