)在集成电路、大型屏幕液晶显示屏(TFT-LCD)的生产中，作为清洗剂之用。三氟化氮在潮湿的空气中与水蒸气能发生氧化还原反应，其反应的产物有：HF、NO和HNO
纯三氟化氮 （1）（2）3NF 3+5 H 2 O=2 NO+HNO 3+9 HF。（3）产生红棕色气体、产生白雾。（4）NaOH（5）3F 2+NH 4 HF 2=NF 3+5HF
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